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SEREN电源维修射频匹配器维修ATS30 ATS20

2023-9-20 15:25:55

SEREN电源维修射频匹配器维修ATS30 ATS20

美国SEREN射频电源维修包括:

R系列射频电源:R301-13、R601-13、R1001-13、R1001/1.2、R2001-13、R5001-13、R5001-13、R10,001-13、R15,001-13、R20,001-13,R600

HR系列射频电源:HR601、HRL1001、HR1501、HR2001-AC、HR2001、HR3001、HR5001

L系列低频电源:L301、L601、L1001、L2001、L3001、L5001I系列射频电源

用于ICP领域AT系列自动匹配器:AT-3、AT-6/100、AT-6/500、AT-10、AT-20、AT-30、AT-50/120、AT-50/140、AT-100/160、AT150/180、AT-250/250

射频电源维修:AE电源维修,seren射频电源维修,spellmαn电源维修,glassan电源维修,IMS高压发生器维修,MDX、MDXII、Pinnacle系列,电镀电源维修,电镀高频电源维修,刻蚀射频电源维修,RE射频电源维修,PECVD射频电源维修,大功率工业电源维修,UPS电源维修等各行业工业用电源维修,射频电源设备维修:刻蚀,RIE,PECVD,ICP,射频溅射,CVD和PVD等。

射频电源使用中需注意的问题:

1,使用仪器原装电源线;

2,确认仪器 AC 输入是否有 110V/220V 切换开关。若有,确认开关打在 220V 档位;

3,确认电网稳定。当电网中有大功率电器接入时,先关闭仪器,拔下电源线,待电网稳定后再使用;

4,开机时:先插上 AC 电源线,再按开机键开机;

关机时:先按关机键关机,再拔掉 AC 电源线;

5,注意仪器使用环境,定期清理灰尘。

由于电源工作在高压、大电流下。在电力系统电压波动和浪涌的情况下,会导致电源的瞬时增加和熔断电流。如果丝的确是吹,在射频电源的维护时,你可以先看看一些其他组件在电路板是否机器的内部组件和设备已经烧坏了,是否有电解液流出。如果这两种情况都没有发生,则应使用一些检测工具来检测是否存在短路。

曾多次维修,到客户那仍不能使用的,应在现场检查整机接线及其它易损易坏部件。检查引起故障原因所在。并做好现场检测记录随机退回

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